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德国蔡司扫描电镜通过发射高能电子束扫描样品表面，利用电子与样品物质的相互作用激发出的各种物理信号（主要是二次电子）来调制一个同步扫描的显像管在荧光屏上成像，从而实现对样品表面形貌的观察和分析。
蔡司扫描电子显微镜具有很高的空间分辨率和放大倍数，能够显示非常小的细节，比传统光学显微镜具有更高的分辨率。它在材料科学、生物学、纳米技术等领域中被广泛应用。
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